中心主任：

  杨晓峰

中心简介：

   本工程研究中心成立于2019年，是上海市发改委批准成立的首批工程研究中心，受复旦大学工研院和微电子学院双重领导。

组织架构

  中心采取直线制，在联合领导小组领导下，实行工程中心主任负责制；设立工程研究中心技术专家委员会进行咨询指导；下设技术研发平台、验证测试平台、产业化基地和综合管理办公室进行日常研发、生产、管理和后勤保障等工作。

研究方向及内容：

       本中心主以突破超精密运动控制与检测核心技术为目标，包括高精密执行器技术、高精度传感器技术、高性能运动台技术、磁悬浮减振台技术。面向高端半导体装备的关键技术和核心零部件，研制具有自主知识产权的零部件，解决高端半导体装备核心零部件的国产化问题，进一步推动高端半导体装备的国产化，实现半导体芯片的国产化。

建设目标

       逐步成为上海市科技创新体系中的重要组成部分，成为面向半导体设备领域工程化研究与开发、突破行业共性与关键技术、促进行业科技成果的转移、辐射和扩散、引领半导体设备行业技术进步的战略性产业技术创新平台。

建设进展及主要成果：

部分组织和承担的重大科研项目

1. 刻机高性能运动控制技术研发，上海市科委，负责人：杨晓峰

2. 自由度超高精度可动机构测试组件，企业合作项目，负责人：杨晓峰

3.    刻机物镜执行器和传感器研制，季华实验室项目，负责人：杨晓峰

主要成果

1. 磁浮平面电机运动台样机一台；可拼接的磁浮导轨运动台样机一台；基于激光干涉仪的六自由度纳米精度标定系统已经开始小批量制造；纳米精度XY气浮导轨运动台样机一台；超高精度光栅尺样品若干套；长行程压电陶瓷致动器样机若干套；

2. 与上海精测半导体技术有限公司共同成立联合实验室；

3. 申请专利28件，授权4件；

4. 在IEEE Transactions on Industrial Electronics、Measurement Science and Technology、Mechanical Systems and Signal Processing、Knowledge-Based Systems等国际著名学术刊物上发表论文20余篇。

直线电机水冷板

磁阻电机

纳米精度光栅尺的栅尺样品

  磁浮平面电机运动台样机