2023年5月20日，“中国计量测试学会科学技术进步奖”在世界计量日中国主场纪念活动中举行了颁奖活动。工程与应用技术研究院（以下简称“工研院”）“上海市超精密运动控制与检测工程研究中心”张志平老师团队的项目-“悬臂光波导光栅亚纳米位移测量技术及应用”，荣获“2022年度中国计量测试学会科学技术进步奖”二等奖，复旦大学为第二完成单位，张志平老师为项目第二完成人。

张志平老师团队面向国家高端制造及重大产业转型升级需求，长期致力于激光外差干涉技术研究及其国产化产品开发。此次“悬臂光波导光栅亚纳米位移测量技术及应用”项目，基于激光外差干涉原理，提出了悬臂光波导光栅位移传感新结构，突破了悬臂光波导光栅加工、系统结构热源隔离、多手段联用复杂信号处理等关键技术，研发了悬臂光波导光栅亚纳米位移测量新产品，实现了0.1nm位移测量分辨率、1nm位移测量精度以及330mm测量范围等关键技术指标，达到国际同类产品水平，并且已经在以光刻机为代表的半导体装备、生物工程、高端制造等领域实现了产业化应用。

延伸阅读：

 1.中国计量测试学会科学技术进步奖

中国计量测试学会科学技术进步奖是2013年经国家科学技术部、国家科学技术奖励办公室批准的社会力量奖项（奖励编号：0234），主要奖励在计量领域科学研究、技术创新与开发、科技成果推广应用和实现产业化方面取得卓著成绩或者做出突出贡献的项目。十年来，共评出获奖项目295项。据不完全统计，获奖项目中共有6项荣获国家科学科技奖。

 2.上海市超精密运动控制与检测工程研究中心

上海市超精密运动控制与检测工程研究中心成立于2019年5月，是上海市发改委批准成立的第一批“工程研究中心”。中心建设依托于复旦大学工研院，在中心主任杨晓峰教授的带领下，通过走产学研结合的道路，紧紧围绕半导体装备的核心零部件需求，对高精密执行器、高精度位移传感器与高性能运动台等领域进行研究与工程化开发，大力推动半导体装备核心零部件国产化，为高端半导体装备的国产化提供有力的技术支撑。