杨晓峰

  • 职称:研究员

  • 职务:教授、博士生导师

  • 电子邮箱:xf_yang@fudan.edu.cn

  • 办公地点:浦东新区金科路4560号金创大厦2号楼1017室

  • 电话:021-61659561

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  • 研究方向

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  • 授课情况

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  • 获奖情况

  • 精密运动控制系统的先进控制方法

  • IC装备特种执行器和传感器技术

  • 纳米精度多自由度运动台的系统设计、仿真和集成技术

  • 集成电路科学与工程

  • 计算机应用

  • 控制科学与工程

  • 研究生选修课1门:微纳米制造技术及其应用

  • 待添加

  • Xu, Y., Yang*, Z., Li, X., Kang, H., & Yang, X. (2020). Dynamic opposite learning enhanced teaching–learning-based optimization. Knowledge-Based Systems, 188, 104966.

  • Xu, Y., Li, X., Yang*, X., Yang, Z., Wu, L., & Chen, Q. (2020). A two-stage model for rate-dependent inverse hysteresis in reluctance actuators. Mechanical Systems and Signal Processing, 135, 106427.

  • Li, Z., Xu, Y., Yang*, X., Feng, J., & Fang, W. (2020). Generalized Inverse Multiplicative Structure for Differential Equation based Hysteresis Models. IEEE Transactions on Industrial Electronics.

  • Liu, Y., Li, L., Yang, X*., & Tan, J. (2020). Enhanced kalman-filtering iterative learning control with application to a wafer scanner. Information Sciences, 541, 152-165.

  • Fu, X., Yang*, X., Zanchetta, P., Liu, Y., Ding, C., Tang, M., & Chen, Z. (2020). A Frequency-Domain Data-driven Adaptive Iterative Learning Control Approach: With Application to Wafer Stage. IEEE Transactions on Industrial Electronics.

  • Fu, X., Yang, X*., & Chen, Z. (2018). A new linear motor force ripple compensation method based on inverse model iterative learning and robust disturbance observer. Complexity, 2018.

  • Song, F., Liu, Y., Xu, J. X., Yang, X., & Zhu, Q. (2018). Data-driven iterative feedforward tuning for a wafer stage: A high-order approach based on instrumental variables. IEEE Transactions on Industrial Electronics, 66(4), 3106-3116.

  • Song, F., Liu, Y., Xu, J. X., Yang, X., He, P., & Yang, Z. (2017). Iterative learning identification and compensation of space-periodic disturbance in PMLSM systems with time delay. IEEE Transactions on Industrial Electronics, 65(9), 7579-7589.

  • 2011年03月-至今,复旦大学微电子学院/工程与应用技术研究院,研究员,博士生导师

  • 1997年4月-2010年10月,日本株式会社尼康,精密机器事业部开发本部 主任研究员

  • 1994年4月-1997年3月,日本上智大学理工学部机电控制专业博士研究生

  • 1989年3月-1993年03月,东北大学自控系,讲师

  • 1986年8月-1989年1月,东北大学自控系,硕士研究生

  • 国家02重大专项总体技术专家组成员

  • 上海市超精密运动控制与检测工程研究中心主任

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