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上海市超精密运动控制与检测工程研究中心

Ø中心主任:杨晓峰

Ø中心简介:

本工程研究中心成立于2019年,是上海市发改委批准成立的首批工程研究中心,受复旦大学工研院和微电子学院双重领导。

Ø组织架构

中心采取直线制,在联合领导小组领导下,实行工程中心主任负责制;设立工程研究中心技术专家委员会进行咨询指导;下设技术研发平台、验证测试平台、产业化基地和综合管理办公室进行日常研发、生产、管理和后勤保障等工作。

Ø研究方向及内容

本中心主以突破超精密运动控制与检测核心技术为目标,包括高精密执行器技术、高精度传感器技术、高性能运动台技术、磁悬浮减振台技术。面向高端半导体装备的关键技术和核心零部件,研制具有自主知识产权的零部件,解决高端半导体装备核心零部件的国产化问题,进一步推动高端半导体装备的国产化,实现半导体芯片的国产化。



Ø建设目标

逐步成为上海市科技创新体系中的重要组成部分,成为面向半导体设备领域工程化研究与开发、突破行业共性与关键技术、促进行业科技成果的转移、辐射和扩散、引领半导体设备行业技术进步的战略性产业技术创新平台。

Ø建设进展及主要成果:

部分组织和承担的重大科研项目

1.光刻机高性能运动控制技术研发,上海市科委,负责人:杨晓峰

2.六自由度超高精度可动机构测试组件,企业合作项目,负责人:杨晓峰

3.光刻机物镜执行器和传感器研制,季华实验室项目,负责人:杨晓峰

主要成果

1.磁浮平面电机运动台样机一台;可拼接的磁浮导轨运动台样机一台;基于激光干涉仪的六自由度纳米精度标定系统已经开始小批量制造;纳米精度XY气浮导轨运动台样机一台;超高精度光栅尺样品若干套;长行程压电陶瓷致动器样机若干套;

2.与上海精测半导体技术有限公司共同成立联合实验室;

3.申请专利28件,授权4件;

4.IEEE Transactions on Industrial ElectronicsMeasurement Science and TechnologyMechanical Systems and Signal ProcessingKnowledge-Based Systems等国际著名学术刊物上发表论文20余篇。


直线电机水冷板


磁阻电机


纳米精度光栅尺的栅尺样品


磁浮平面电机运动台样机