殳峰 博士

  职称:青年研究员 

  邮箱:fshu@fudan.edu.cn

    


个人简介

    2002年本科毕业于上海交通大学信息工程系,2004年获得新加坡南洋理工大学电子工程系硕士学位,2007年获得澳大利亚墨尔本大学电子工程系博士学位。博士毕业后,在欧洲集成电路装备行业积累了近10年研发和管理经验。现为复旦大学工程与应用技术研究院青年研究员,担任复旦大学上海市超精密运动控制与检测工程研究中心副主任、国家科技部02重大专项指挥部技术专家、复旦大学“光华临港”创新平台项目负责人。近年来在核心SCI/EI期刊及会议共发表论文20余篇,获得/申请发明专利10余项,获上海市“浦江人才计划”资助。



研究领域

边缘智能(Edge AI)研究及工业应用,异构(CPU/FPGA/GPU)嵌入式计算,超精密运动控制及测量系统,和IC装备系统设计、测校及集成。



实验室简介

复旦大学上海市超精密运动控制与检测工程研究中心是复旦大学工研院与微电子学院领导的、上海市发改委支持成立的第一批“工程研究中心”。 实验室拥有一支成熟的聚焦于先进集成电路装备核心零部件的产学研科研队伍。实验室在复旦大学张江校区的“张江复旦国际创新中心”拥有3000平米左右的办公及实验场所,科研设备齐全、环境优越。近年来实验室承担包括国家重大科技专项、上海市科技重大专项及企业横向在内的科研课题近7000万元。



课题在研(共计约800万元)

1.  上海市科委项目:“高端嵌入式运动控制系统”,项目负责人,经费120万,2020.12-2022.11。

2.  国内某知名半导体装备企业横向项目:“晶圆检测运动台测校算法及系统研制”,项目负责人,经费400万,2021.5-2023.6。

3.  复旦大学“光华临港”创新平台预研项目:“面向工业测量现场的表面形貌检测仪研制”,项目负责人,经费103万,2020.9-2022.8。

4.  复旦大学工研院先导项目:“自动化胚胎/细胞培养及表型测定流水线的设计与实现”,子课题负责人(嵌入式系统及传感器信号处理),总经费150万。



课题参与

1.  国家科技部02重大专项(“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”)课题“2017ZX02101007”,经费2168.86万,2017.10-2022.9。

2.  上海市科委重大科研项目(“18DZ1112600”),经费920万,2018.10-2022.10。